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雙面研磨拋光機的主要功能

發(fā)布日期： 2021-04-08  瀏覽人數：

主要功能
     雙面精密研磨拋光機可以對硅、氧化硅材料進(jìn)行減薄以及拋光處理。實(shí)現對于加工后的粗糙硅表面進(jìn)行減薄、平坦化以及二次平整的工藝步驟，以保證后續硅硅鍵合或者光刻工藝的順利進(jìn)行。該設備的最終處理對象為不平整的硅表面、氧化硅表面，實(shí)現樣品的厚度減薄或實(shí)現表面平整化與拋光。 
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